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四重極型質量ガス分析計 . Transpector XPR3

四重極型質量ガス分析計           .      Transpector XPR3

製品について

差動排気システム不要でPVDプロセスを直接モニター可能!

 

一般的なPVDプロセス圧力領域では、通常の質量ガス分析計は動作不可のため差動排気の併用が必要でしたが、インフィコン社の卓越した技術と経験により世界に先駆けて開発されたTranspector XPR3は差動排気を不要としたPVDプロセスモニターです。

 

特長

・高真空から2.6Paまでの広い圧力範囲を差動排気無しにシームレスでモニター可能。

・特許取得のデュアルイオンソース構造により、高圧領域での感度低下を効果的に補正し高いリニアリティー性能と測定精度を実現。

・PVDプロセス圧力でも動作可能な新設計のEM(電子増倍管)により、高感度なデータ収集が可能

・独自の四重極構造により低質量範囲でのフィルタ性能と感度が改善され、水素検知能力も向上

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