真空機器、真空バルブの加工・設計

インフィコン社のTranspector CPMは、半導体を始めとした様々なアプリケーションにおいて長年に渡り市場をリードし続けているプロセスモニターです。Transpector CPMは、独自のセンサー技術と現場で実証されたポンピングおよびインレットシステムの統合により、業界最先端の測定性能を実現しています。Transpector CPMはCVD、PVD、およびエッチング等の半導体プロセスや、その他様々な分野での微量ガス分析に理想的なプロセスモニターです。

特長

・メンテナンスコストを低く抑え、堅牢で長寿命なクローズドイオンソース

・最大で3つのサンプリング圧力インレットを備えた表面積の小さいHexBlockが、表面反応と応答時間を最小化

・高真空から大気圧までの幅広い圧力領域で測定が可能

・CDG（隔膜真空計）でプロセス圧力を常時モニタリング、圧力の異常変動時にはシステムを自動的に保護

・過酷なCVDやエッチングアプリケーションの現場で実証された耐久性と信頼性

・コンパクトなサイズで各種装置への統合が容易