ゲートバルブ
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ゲートバルブはお任せ下さい

弊社では、各種真空部品を取り扱っています。
既成品では対応できないような場合につきましても、真空装置の仕様に適した真空機器・真空部品を選定し、ご要望に応じて追加工や設計といった応用を加えて、ニーズに合った製品に変えてお届けします。
こちらのページでは、ゲートバルブの製品情報についてご紹介します。

ゲートバルブの製品情報

エアーオープン・クローズ型 EXシリーズ

ゲートバルブ

製品について

当ゲートバルブは、アクチュエータの配置場所を工夫し、外形の短縮を実現しました。
エアーシリンダーはクローズ時の推力を倍増することで確実なシールを行い、ストロークエンドでのエアークッション効果による衝撃緩和を実現しています。
ステンレス製ハウジングは、研磨板材を真空ロー付けによって製作しているため、内面のデッドスペースがなくなり、ガス放出を低減しています。
弁体のシール機構は、等間隔のボール押し付け方式により、逆圧に対するシール性能にも優れています。

仕様

呼び径 40A 〜 500A
リーク量 1×10-10Pa・m3/s以下
使用領域 105〜10-6Pa
接ガス部材質 SUS304
軸シール フッ素ゴムOリング
作動空気圧 0.4〜0.6MPaG
保証サイクル 1×105

※特殊仕様品(フランジ大きさ、肉厚薄/両端サンドイッチ用合フランジ付etc.)も製作可能
※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

材質

フランジ材質:SUS304
その他接ガス部:SUS304

標準納期

40日

エアー可変型 EX-XONシリーズ

ゲートバルブ

製品について

当ゲートバルブは、弁開度を任意に設定できるサブシリンダーが付いているので、1台のバルブでメイン排気と流量調節が可能です。

アクチュエータの配置場所を工夫し、外形の短縮を実現しました。
エアーシリンダーはクローズ時の推力を倍増することで確実なシールを行い、ストロークエンドでのエアークッション効果による衝撃緩和を実現しています。
ステンレス製ハウジングは、研磨板材を真空ロー付けによって製作しているため、内面のデッドスペースがなくなり、ガス放出を低減しています。
弁体のシール機構は、等間隔のボール押し付け方式により、逆圧に対するシール性能にも優れています。

仕様

呼び径 70A〜500A
リーク量 1×10-10Pa・m3/s以下
使用領域 105〜10-6Pa
接ガス部材質 SUS304
軸シール フッ素ゴムOリング
作動空気圧 0.4〜0.6MPaG
保証サイクル 1×105

※特殊仕様品(フランジ大きさ、肉厚薄/両端サンドイッチ用合フランジ付etc.)も製作可能
※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

材質

フランジ材質:SUS304

標準納期

40日

シリーズ寸法図とサイズ表(pdf形式)

EXシリーズのフランジ形状別の寸法図とサイズ表はこちら。

  • JIS
  • NW(KF)
  • ISO
  • CF

EX-XONシリーズのフランジ形状別の寸法図とサイズ表はこちら。

  • JIS
  • ISO
  • CF
  • エアー配管接続方法

電動可変型 MEX-MPシリーズ

ゲートバルブ

製品について

当ゲートバルブは、サーボモーター駆動により全開・全閉及び最大14ポジションの任意の位置に、再現性良く停止させることが可能で、流動制御や圧力制御が簡単に行えます。
ポジショニング設定はティーチングボックスやパソコンソフトで簡単に行うことができます。
逆圧に対するシール性能にも優れています。

仕様

呼び径 70A〜400A
リーク量 1×10-10Pa・m3/s以下
使用領域 105〜10-6Pa
接ガス部材質 SUS304
電源仕様 動力電源 DC24V
制御電源 DC24V
軸シール フッ素ゴムOリング
保証サイクル 1×105

※特殊仕様品(フランジ大きさ、肉厚薄/両端サンドイッチ用合フランジ付etc.)も製作可能
※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

材質

フランジ材質:SUS304

標準納期

40日

シリーズ寸法図とサイズ表(pdf形式)

MEXシリーズのフランジ形状別の寸法図とサイズ表はこちら。

  • JIS
  • ISO
  • CF
  • ポジション番号について
  • 制御システム

手動可変型 EX-03シリーズ

ゲートバルブ

製品について

当ゲートバルブは、全開から全閉まで軽く滑らかなハンドル操作です。

アクチュエータの配置場所を工夫し、外形の短縮を実現しました。
ステンレス製ハウジングは研磨板材を真空ロー付けによって製作しているため、内面のデッドスペースが無くなり、ガス放出を低減しています。
弁体のシール機構は等間隔のボール押付け方式により、逆圧に対するシール性能の信頼性に優れています。

仕様

呼び径 40A〜400A
リーク量 1×10-10Pa・m3/s以下
使用領域 105〜10-6Pa
接ガス部材質 SUS304
軸シール フッ素ゴムOリング
保証サイクル 1×105

※特殊仕様品(フランジ大きさ、肉厚薄/両端サンドイッチ用合フランジ付etc.)も製作可能
※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

材質

フランジ材質:SUS304
その他接ガス部:SUS304

標準納期

40日

シリーズ寸法図とサイズ表(pdf形式)

EX-03シリーズのフランジ形状別の寸法図とサイズ表はこちら。

  • JIS
  • NW(KF)
  • ISO
  • CF
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実際にお問い合わせをいただいてから、製品を納入するまで

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